Silane (SiH₄)
Peut être mesuré avec :
✓ mesurable avec l’air-Q Science sur demande.
Les air-Q avec un capteur pour Silane
Origine/Occurrence :
Fabrication technique ; procédés CVD, cellules solaires en couches minces.
Valeurs limites :
Des valeurs limites d’exposition professionnelle existent ; le danger principal est l’inflammation/explosion spontanée.
Conséquences :
Risque de brûlure/explosion ; l’inhalation de produits de décomposition irrite les voies respiratoires.
Sécurité :
Purges au gaz inerte, incinération/lavage des effluents gazeux, détection de fuites.
Autres valeurs mesurées / capteurs
Capteur individuel Capteur individuel Infrasons Infrasons H₂ Hydrogène COV Composés Organiques Volatils C₄H₈S Tétrahydrothiophène T Température de l’air Td Point de rosée NO Monoxyde d’azote NO₂ Dioxyde d’azote SiH₄ Silane H₂Se Séléniure d’hydrogène H₂S Sulfure d’hydrogène SO₂ Dioxyde de soufre O₂ Oxygène Rn Radon C₃H₆ Propène COCl₂ Phosgène O₃ Ozone PH₃ Phosphine CH₄S Méthanethiol / méthylmercaptan CH₄ Méthane Substance de test de Merlin Substance de test de Merlin ρ Humidité relative de l’air φ Humidité absolue de l’air p Pression atmosphérique lx Lumière / Éclairement lumineux Lp_max Bruit valeur maximale Lp Bruit N₂O Gaz hilarant (protoxyde d’azote) CO Monoxyde de carbone CO₂ Dioxyde de carbone C₄H₁₀ Isobutane PID Capteur COV industriel N₂H₄ Hydrazine CH₂O Formaldéhyde HF Fluorure d’hydrogène F₂ Fluor Comptage de particules fines Comptage de particules fines PM₁ – PM₂,₅ – PM₁₀ Particules fines C₂H₄O Oxyde d’éthylène C₂H₆ Éthane B₂H₆ Diborane ClO₂ Dioxyde de chlore Cl₂ Chlore / gaz cloré C₄H₁₀ Butane HBr Bromure d’hydrogène Br₂ Brome HCN Acide cyanhydrique AsH₃ Arsine NH₃ Ammoniac Alcools Alcools
